发明名称 CHARGED PARTICLE BEAM IRRADIATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1092360(A) 申请公布日期 1998.04.10
申请号 JP19960241591 申请日期 1996.09.12
申请人 HITACHI LTD 发明人 KAGEYAMA KASHIO;KANEOKA NORIYUKI
分类号 H01J37/07;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/07 主分类号 H01J37/07
代理机构 代理人
主权项
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