发明名称 METHOD FOR CONTROLLING ETCH DEPTH
摘要
申请公布号 EP1543547(A2) 申请公布日期 2005.06.22
申请号 EP20030759493 申请日期 2003.09.18
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 KAMP, TOM, A.;MILLER, ALAN, J.;VENUGOPAL, VIJAYAKUMAR, C.
分类号 H01L21/00;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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