参考点泰伯编码器

摘要

本申请披露了一种光学编码器，包括标尺和探测头。该标尺包括一光学元件。该探测头包括均设置在基板上的光源、探测器阵列和标记探测器。标尺设置成与探测头相对，并且设置成可相对探测头移动。选择标尺与探测头之间的距离，使探测器阵列靠近talbot成像平面。光源发射朝向标尺引导的发散光束。光栅将发散光束的光朝向探测器阵列衍射。光学元件将发散光束的光朝向标记探测器衍射。探测器阵列对探测头相对标尺的位置进行测量。标记探测器提供探测头相对标尺的位置的参考测量。

主权项

1、一种光学编码器，包括：A一个标尺，该标尺包括光栅和光学元件；B探测头，该探测头包括均设置在基板上的光源和探测器阵列，标尺与探测头相对设置，并且标尺设置成可相对探测头移动，标尺与最靠近该标尺的talbot成像平面之间的距离等于d，探测头处于被第一平面和第二平面限定的区域内，第一平面与标尺之间分隔开的距离等于n倍d加上d倍x，第二平面与标尺之间分隔开的距离等于n倍d减去d倍x，n为整数，x小于或等于0.5，光源发射发散光束，发散光束朝向标尺射出，光栅将发散光束的光朝向探测器阵列衍射；C设置在标尺与探测头之间的掩模，该掩模设定有小孔，该掩模相对探测头保持固定，设计该小孔的大小并且设置成可防止光栅衍射的第5级光束到达探测器阵列。