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发明名称 AN APPARATUS FOR REMOVING THE EDGE BEAD OF THE BLANK MASK AND REMOVING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 KR100712187(B1) 申请公布日期 2007.04.20
申请号 KR20060010847 申请日期 2006.02.03
申请人 S&STECH CO., LTD. 发明人 NAM, KEE SOO;KANG, GEUNG WON;LEE, HYUNG JAE;KIM, DONG GEUN;CHO, KANG MIN
分类号 H01L21/304;H01L21/027 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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