发明名称 Zerstäubungsgerät und Schichtherstellungsverfahren
摘要
申请公布号 DE60136515(D1) 申请公布日期 2008.12.24
申请号 DE20016036515 申请日期 2001.09.06
申请人 ULVAC INC. 发明人 MORIMOTO;KONDO;NAGASHIMA
分类号 H01J37/34;H05H1/46;C23C14/34;H01L21/203;H01L21/285 主分类号 H01J37/34
代理机构 代理人
主权项
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