减小容量的载运器,输送工具,装载端口和缓冲器系统

摘要

一种半导体工件处理系统，其具有用于处理工件的至少一个处理装置、主输送系统、辅输送系统以及主输送系统和辅输送系统之间的一个或多个界面。主输送系统和辅输送系统各自具有一个或多个大致恒速的段以及与恒速段连通的排队段。

主权项

1.一种半导体工件处理系统，包括：用于处理半导体工件的至少一个处理工具；具有一个或多个恒速输送回路的主输送系统；具有一个或多个恒速输送回路的辅输送系统，所述辅输送系统经由排队段连接到所述主输送系统上，其中，所述排队段构造成允许材料在所述主输送系统与辅输送系统之间移动而不干扰所述主输送系统或所述辅输送系统的流动；以及经由用于与所述至少一个处理工具对接的对接分路连接到所述辅输送系统的所述一个或多个输送回路上的一个或多个界面，其中，所述对接分路构造成允许材料在所述辅输送系统的所述一个或多个输送回路与所述一个或多个界面之间移动而不干扰所述辅输送系统的流动；其中，材料沿着所述主输送系统和所述辅输送系统的流动是连续的。