| 摘要 |
본 발명의 일실시형태에 의한 미세 요철 패턴의 형성 방법은 기판 상에 레지스트층이 형성된 전사용 기판의 레지스트층에 몰드의 미세 요철 패턴을 전사하여 상기 전사한 미세 요철 패턴을 경화하는 경화 공정과, 상기 전사한 미세 요철 패턴을 경화한 후 상기 전사용 기판과 상기 몰드를 박리하는 박리 공정을 구비하고, 상기 박리 공정은 상기 전사용 기판의 둘레 가장자리부를 고정한 상태에서 상기 전사용 기판의 기판 이면을 가압하여 상기 전사용 기판을 만곡 형상으로 휘게 하여 상기 전사용 기판의 휨에 의해 상기 전사용 기판과 상기 몰드의 박리를 개시하는 제 1 박리 공정과, 상기 전사용 기판의 휨이 복원되도록 상기 가압한 압력을 서서히 감소시킴으로써 상기 미세 요철 패턴 중 상기 제 1 박리 공정에서 박리되지 않은 미세 요철 패턴을 박리하는 제 2 박리 공정을 구비한다. 본 발명의 일실시형태에 의한 전사용 기판의 제조 방법은 상기 형성 방법에 의해 전사용 기판을 제조하는 것이다. |
