主动式的设备自动化程序的仿真测试方法和系统

摘要

本发明提供一种主动式的设备自动化程序的仿真测试方法和系统，应用于一个包括主体、输入端和输出端的测试工具中，所述方法包括：所述测试工具使用至少一个控件来进行与设备自动化程序之间的数据传输；其中，所述每个所述控件各代表一个测试实体。本发明的方法和系统能够实现测试过程中的全自动化，避免了因人为干预而导致的效率低下的问题，并且可以在短时间内发送多条消息，从而能够模拟多个半导体晶圆容器同时放在一个机台上进行交叉跑货的情况，提高了EAP程序的精确性，减少了跑错货或者跑死货情况的发生，进而提高了产能和良率。

主权项

一种主动式的设备自动化程序的仿真测试方法，其特征在于，所述方法包括：提供若干套待测试实体、基于该若干套待测试实体设置的EAP系统和基于所述若干套待测试实体设置的测试流程文件，且该测试流程文件中包括基于每套所述待测试实体进行测试的若干测试流程消息；提供一设置有输入端的测试工具；当需要基于任意一套所述待测试实体对所述EAP系统进行测试时，通过所述输入端向所述测试工具中输入一基于该套所述待测试实体的测试流程配置文件，所述测试工具根据所述测试流程配置文件调取所述测试流程文件中与该套待测试实体相应的一测试流程消息，以对所述EAP系统进行测试。