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发明名称 APPARATUS FOR ETCHING AN EDGE OF SUBSTRAT USING MICROWAVE
摘要
申请公布号 KR100598915(B1) 申请公布日期 2006.07.03
申请号 KR20050025516 申请日期 2005.03.28
申请人 SEMES CO., LTD. 发明人 CHOI, YONG NAM;CHO, JUNG KEUN
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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