形成铁电随机存取记忆体之电容之方法

摘要

一种形成FeRAM之电容器的方法。在FeRAM电容器之形成制程中隔离出储存电极时，所揭示之方法使用含有机酸之酸性研磨浆进行CMP制程，故可避免在使用硷性研磨浆之CMP制程中之回蚀制程及Pt层之刮痕造成的阶梯差距。