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发明名称 Verfahren zum Herabsetzen oder zum vollstaendigen Unterdruecken von auf der Oberflaeche von metallischen Duennschichten bei zyklischer Waermebehandlung entstehenden warzenartigen Defekten
摘要
申请公布号 DE2060476(A1) 申请公布日期 1971.07.22
申请号 DE19702060476 申请日期 1970.12.09
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 CHAUDHARI,PRAVEEN;MAX D'HEURLE,FRANCOIS;GANGULEE,AMITAVA
分类号 H01C17/06;C23C14/14;H01B1/00;H01F10/06;H01F10/10;H01L21/00;H01L21/28;H01L21/3205;H01L23/52;H01L23/532;H01L29/43;H01L39/22;H01L39/24;H05K3/14 主分类号 H01C17/06
代理机构 代理人
主权项
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