发明名称 PRODUCTION OF DEPOSITS BY CATHODE SPUTTERING
摘要
申请公布号 US3616452(A) 申请公布日期 1971.10.26
申请号 USD3616452 申请日期 1968.06.21
申请人 SA. SOC. ALSACIENNE DE CONSTRUCTION ATOMIQUES DE TELECOMMUNICATIONS ET D'ELE CTRONIQUE ALCATEL 发明人 JEAN JACQUES BESSOT;JEAN CLAUDE BURLURUT
分类号 C23C14/35;C23C14/46;(IPC1-7):C23C15/00 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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