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发明名称
PRODUCTION OF DEPOSITS BY CATHODE SPUTTERING
摘要
申请公布号
US3616452(A)
申请公布日期
1971.10.26
申请号
USD3616452
申请日期
1968.06.21
申请人
SA. SOC. ALSACIENNE DE CONSTRUCTION ATOMIQUES DE TELECOMMUNICATIONS ET D'ELE CTRONIQUE ALCATEL
发明人
JEAN JACQUES BESSOT;JEAN CLAUDE BURLURUT
分类号
C23C14/35;C23C14/46;(IPC1-7):C23C15/00
主分类号
C23C14/35
代理机构
代理人
主权项
地址
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