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发明名称
SUBSTRATE SUPPORT MODULE
摘要
申请公布号
US3669812(A)
申请公布日期
1972.06.13
申请号
USD3669812
申请日期
1970.10.16
申请人
BENDIX CORP.:THE
发明人
FRIEDER H. ENSSLIN
分类号
C23C14/54;H01J37/34;(IPC1-7):F25B29/00
主分类号
C23C14/54
代理机构
代理人
主权项
地址
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