DEVICE FOR CONVEYING SUBSTRATES THROUGH A SUBSTRATE PROCESSING PLANT

摘要

기판 처리용 설비(11)를 통한 가능한한 간단하고 플렉시블한 기판(7) 운반용 장치를 얻기 위해, 상기 장치는 베이스 운반 벨트(2)와 2개의 측면 운반 벨트(4, 6)를 가지는데, 모두 직립 위치로 기판(7)을 고정하기 위한 노치를 구비한다.