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发明名称
METHOD AND DEVICE FOR PREPARING FOR CONTACT EXPOSURE
摘要
申请公布号
SU750614(A1)
申请公布日期
1980.07.23
申请号
SU19772439404
申请日期
1977.01.12
申请人
VEB ELEKTROMAT (INOPREDPRIYATIE)
发明人
DETLEF ULRIKH,DL;PETER VESTFAL,DL;DITER ESKOLD,DL;KHELMUT SHTELTSENMYULLER,DL
分类号
G03F7/26;G03F7/20;(IPC1-7):H01L21/00
主分类号
G03F7/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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