Manufacturing process for protection layers on magnetic record carriers and record carriers manufactured according to the same process.

摘要

Verfahren zum Herstellen von Schutzschichten auf magnetischen Datenträger durch Plasmapolymerisation. In einem Frequenzbereich von 915 MHz bis 10 GHz werden Kohlenstoff enthaltende Schichten aus zugeführten flüchtigen Kohlenwasserstoffen und Fluor-Kohlenstoff-Verbindungen abgeschieden. Zur Lösung der Aufgabe, mechanisch und chemisch widerstandsfähige Schichten zu erzeugen, wird zunächst eine Haftvermittler- und Korrosionschutzschicht (26) aus einem Polymerisat aus der Gruppe der fluorierten Kohlenstoffe und Kohlenwasserstoffe mit einer Schichtdicke von 1 bis 20 nm aufgebracht und anschließend auf die Haftvermittlerschicht durch ein eine Blasspannung erzeugendes Plasma-Polymerisationsverfahren eine Schicht (27) aus amorphem Kohlenstoff mit einer Schichtdicke von 15 bis 100 nm aufgebracht.