| 发明名称 |
Process for preparing amorphous silicon. |
| 摘要 |
<p>Amorphous silicon powder or film can be prepared by thermally decomposing a perchloropolysilane.</p> |
| 申请公布号 |
EP0264722(A2) |
申请公布日期 |
1988.04.27 |
| 申请号 |
EP19870114667 |
申请日期 |
1987.10.08 |
| 申请人 |
MITSUBISHI MATERIALS CORPORATION |
发明人 |
IKEDA, HIROSHI;TSUNASHIMA, MAKOTO;SATOH, MASAMITSU |
| 分类号 |
C01B33/03;C03C17/22;C04B41/50;C04B41/85;C23C16/24 |
主分类号 |
C01B33/03 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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