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发明名称 SEMICONDUCTOR PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6435175(A) 申请公布日期 1989.02.06
申请号 JP19870193218 申请日期 1987.07.31
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 ARAKI KENJI
分类号 F16J15/10;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 F16J15/10
代理机构 代理人
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