| 发明名称 |
SHORT-CIRCUIT FAILURE POSITION DETECTING METHOD AND SHORT-CIRCUIT FAILURE REPAIRING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04219790(A) |
申请公布日期 |
1992.08.10 |
| 申请号 |
JP19900404155 |
申请日期 |
1990.12.20 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
NIWA SUSUMU;SASUGA MASUMI;MATSUZAKI HIDEO |
| 分类号 |
G02F1/133;G02F1/1343;G09F9/00;G09G3/36;H01L21/66;H02H3/16 |
主分类号 |
G02F1/133 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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