| 发明名称 |
CONTROL OF DIAMETER OF SILICON SINGLE CRYSTAL AND APPARATUS THEREFOR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH04219388(A) |
申请公布日期 |
1992.08.10 |
| 申请号 |
JP19910088633 |
申请日期 |
1991.04.19 |
| 申请人 |
NKK CORP |
发明人 |
KAWASHIMA AKIHIRO;SATO TATSUO;OKAWA TOSHIO |
| 分类号 |
C30B15/26;C30B29/06;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B15/26 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
