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发明名称
SOURCE OF HIGH SPEED ATOMIC RAY
摘要
申请公布号
JPH04277500(A)
申请公布日期
1992.10.02
申请号
JP19910038607
申请日期
1991.03.05
申请人
EBARA CORP
发明人
HATAKEYAMA MASAKI;NAGAI KAZUTOSHI
分类号
H01J37/02;H05H3/02
主分类号
H01J37/02
代理机构
代理人
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