发明名称 |
WINDING TYPE VACUUM DEPOSITION DEVICE BY ELECTRON BEAM |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0586470(A) |
申请公布日期 |
1993.04.06 |
申请号 |
JP19910249843 |
申请日期 |
1991.09.27 |
申请人 |
TOPPAN PRINTING CO LTD |
发明人 |
HARADA TAKAHIRO;SEKIGUCHI MAMORU |
分类号 |
C23C14/02;C23C14/30;C23C14/56 |
主分类号 |
C23C14/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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