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发明名称
摘要
申请公布号	JPH0579189(B2)	申请公布日期	1993.11.01
申请号	JP19860083486	申请日期	1986.04.10
申请人	NIPPON ELECTRIC CO	发明人	KASAMA KUNIHIKO
分类号	H01L29/78;H01L21/336;(IPC1-7):H01L29/784	主分类号	H01L29/78
代理机构		代理人
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