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发明名称 DRY THIN FILM WORKING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH06330324(A) 申请公布日期 1994.11.29
申请号 JP19930113540 申请日期 1993.05.17
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 YAGI TORU;YOSHIDA MAKOTO
分类号 C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23C16/50 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
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