发明名称 AG MATERIAL FOR VAPOR DEPOSITION AND ITS PRODUCTION
摘要
申请公布号 JPH07258829(A) 申请公布日期 1995.10.09
申请号 JP19940073932 申请日期 1994.03.18
申请人 TANAKA KIKINZOKU KOGYO KK 发明人 IWAI SHOZABURO
分类号 C23C14/14;C22C5/06;C23C14/24;(IPC1-7):C23C14/24 主分类号 C23C14/14
代理机构 代理人
主权项
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