| 发明名称 |
CLUSTER ION BEAM SPUTTERING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08104980(A) |
申请公布日期 |
1996.04.23 |
| 申请号 |
JP19940244413 |
申请日期 |
1994.10.07 |
| 申请人 |
RES DEV CORP OF JAPAN;AYUMI KOGYO KK |
发明人 |
ABE TAIZO;YAMADA AKIRA |
| 分类号 |
C23C14/32;H01J37/08;H01J37/317;(IPC1-7):C23C14/32 |
主分类号 |
C23C14/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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