| 发明名称 |
SUBSTRATE FOR VAPOR PHASE SYNTHESIS OF SINGLE CRYSTAL DIAMOND FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08259387(A) |
申请公布日期 |
1996.10.08 |
| 申请号 |
JP19950091830 |
申请日期 |
1995.03.24 |
| 申请人 |
KOBE STEEL LTD |
发明人 |
NISHIMURA KOZO;TACHIBANA TAKEO;KOBASHI KOJI |
| 分类号 |
C30B25/18;C23C16/27;C30B29/04;H01L31/10;(IPC1-7):C30B25/18 |
主分类号 |
C30B25/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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