发明名称 HEATER FOR SINGLE CRYSTAL PULLING-UP DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08259378(A) 申请公布日期 1996.10.08
申请号 JP19950094441 申请日期 1995.03.27
申请人 IBIDEN CO LTD 发明人 HORIO TAISHIN;TAKAGI TAKASHI
分类号 H05B3/14;C30B15/14;H05B3/62;(IPC1-7):C30B15/14 主分类号 H05B3/14
代理机构 代理人
主权项
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