| 发明名称 |
Verfahren und Vorrichtung zur Ausrichtung einer Maske und einem Werkstück |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69511201(T2) |
申请公布日期 |
1999.12.30 |
| 申请号 |
DE19956011201T |
申请日期 |
1995.10.06 |
| 申请人 |
USHIODENKI K.K., TOKIO/TOKYO |
发明人 |
GOTO, MANABU |
| 分类号 |
G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;H05K3/00;(IPC1-7):G03F9/00 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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