SCHÄRFUNGSVERFAHREN FÜR EMISSIONSTELLEN DURCH OXYDATION BEI NIEDRIGER TEMPERATUR,申请号DE19956017700-传众专利搜索

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发明名称	SCHÄRFUNGSVERFAHREN FÜR EMISSIONSTELLEN DURCH OXYDATION BEI NIEDRIGER TEMPERATUR
摘要
申请公布号	DE69517700(D1)	申请公布日期	2000.08.03
申请号	DE19956017700	申请日期	1995.11.02
申请人	MICRON TECHNOLOGY, INC.	发明人	CATHEY, A.
分类号	H01J9/02;(IPC1-7):H01J9/02	主分类号	H01J9/02
代理机构		代理人
主权项
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