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发明名称
摘要
申请公布号	JP3272312(B2)	申请公布日期	2002.04.08
申请号	JP19980308759	申请日期	1998.10.29
申请人		发明人
分类号	H01L21/52;B23Q17/22;(IPC1-7):B23Q17/22	主分类号	H01L21/52
代理机构		代理人
主权项
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