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发明名称 Semiconductor test system and associated methods for wafer level acceptance testing
摘要
申请公布号 AU2002250528(A1) 申请公布日期 2002.10.21
申请号 AU20020250528 申请日期 2002.04.05
申请人 UNIVERSITY OF FLORIDA;INTERSIL AMERICAS INC. 发明人 RAVI CHAWLA;WILLIAM R. EISENSTADT;JEFFREY M. JOHNSTON;ROBERT M. FOX;DON F. HEMMENWAY;CHRIS A. MCCARTY
分类号 G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66;H01L23/544 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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