发明名称 METHOD FOR STABILIZING OXIDE-SEMICONDUCTOR INTERFACE BY USING GROUP 5 ELEMENT AND STABILIZED SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 KR20020085891(A) 申请公布日期 2002.11.16
申请号 KR1020027006120 申请日期 2002.05.13
申请人 发明人
分类号 H01L21/18 主分类号 H01L21/18
代理机构 代理人
主权项
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