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发明名称 Entfernungs- und Einbringungsvorrichtung für einen Behälterdeckel
摘要
申请公布号 DE60122748(T8) 申请公布日期 2007.05.03
申请号 DE20016022748T 申请日期 2001.11.21
申请人 RIGHT MFG. CO. LTD. 发明人 NAGATA, TATSUHIKO
分类号 H01L21/00;H01L21/677;H01L21/68 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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