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发明名称 Apparatus for treating the surface of a substrate having supply pipe for treatment gas
摘要
申请公布号 KR100760651(B1) 申请公布日期 2007.09.21
申请号 KR20060007125 申请日期 2006.01.24
申请人 发明人
分类号 H01L21/3065 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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