发明名称 负型感光树脂组成物
摘要 明系有关于一种对于长波长紫外光具有反应性的负型感光树脂组成物,具体而言,是有关于一种负型感光树脂组成物,其包括有a)单一或混合共聚物,系选自i)丙烯基共聚物、ii)聚亚醯胺基共聚物以及iii)矽氧烷基共聚物,b)光起始剂,以及c)具有特定结构的吖啶基感光剂。
申请公布号 TWI534538 申请公布日期 2016.05.21
申请号 TW100126807 申请日期 2011.07.28
申请人 东进世美肯股份有限公司 发明人 吕泰勋;金柄郁;尹赫敏;丘冀赫;尹柱豹;金东明;申洪大;金珍善;李相勋;禹昌旼
分类号 G03F7/038(2006.01);G03F7/028(2006.01);H01L21/027(2006.01);G02F1/133(2006.01) 主分类号 G03F7/038(2006.01)
代理机构 代理人 刘绪伦
主权项 一种负型感光树脂组成物,包含有:a)100重量份之丙烯基共聚物、聚亚醯胺基共聚物、矽氧烷基共聚物或前述共聚物的共聚物;b)0.1至30重量份的光起始剂;以及c)0.1至30重量份之由下列化学式1表示的感光剂;其中该b)光起始剂系为至少一种选自下列所构成之族群中的化合物:2-(邻-氯苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物、2-(邻-氯苯基)-4,5-双(间-甲氧基苯基)咪唑二聚物、2-(邻-氟苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物、2-(邻-甲氧基苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物、2,4-双(对-甲氧基苯基)-5-苯基咪唑二聚物、2-(2,4-双甲氧基苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物、2-(对-甲基巯苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物、[1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲醯基)-9H-咔唑-3-基]-1-(O-乙醯肟); 该化学式1中,n为1至10的整数。
地址 南韩