靶材真空喷涂生产设备

摘要

本发明公开了一种喷涂效果好的靶材真空喷涂生产设备，包括：机架、除尘回收装置和数控水冷却装置，在所述机架上设置有真空管，在所述真空管内设置有靶材基材和等离子喷枪，在所述的真空管上依次设置有涂层测厚仪、涂层测温仪、喷涂仓冷却水进口、氮气保护气体进口、负压气口、靶材表面冷却液氮进口和视觉监控口，所述的喷涂仓冷却水进口通过连接水管与所述的数控水冷却装置相连接，所述的负压气口通过负压管与所述的除尘回收装置相连接，所述靶材基材的一端通过接头与旋转轴的一端相连接，所述的旋转轴通过若干支撑辊轮支撑在所述机架上。

主权项

靶材真空喷涂生产设备，其特征在于：包括：机架（1）、除尘回收装置（2）和数控水冷却装置（3），在所述机架（1）上设置有真空管（4），在所述真空管（4）内设置有靶材基材（5）和等离子喷枪（6），在所述的真空管（4）上依次设置有涂层测厚仪（7）、涂层测温仪（8）、喷涂仓冷却水进口（9）、氮气保护气体进口（10）、负压气口（11）、靶材表面冷却液氮进口（12）和视觉监控口（13），所述的喷涂仓冷却水进口（9）通过连接水管（14）与所述的数控水冷却装置（3）相连接，所述的负压气口（11）通过负压管（15）与所述的除尘回收装置（2）相连接，所述靶材基材（5）的一端通过接头（16）与旋转轴（17）的一端相连接，所述的旋转轴（17）通过若干支撑辊轮（18）支撑在所述机架（1）上，在所述旋转轴（17）内设置有U形冷却水管（19），所述U形冷却水管（19）的U形端部深入到所述靶材基材（5）的内部，所述U形冷却水管（19）的另一端通过旋转接头（20）分别与两软管（21）相连接，所述的U形冷却水管（19）通过两软管（21）与所述数控水冷却装置（3）相连接，所述旋转接头（20）通过连接块（22）与移动链条（23）相连接，所述的移动链条（23）支撑在与其相互配合的主动链轮（24）和从动链轮（25）上，所述的主动链轮（24）设置在移动驱动电机（26）的转轴（27）上，在所述旋转轴（17）的中部外侧设置有旋转从动齿轮（28），在所述的机架（1）上设置有旋转驱动电机（29），在所述旋转驱动电机（29）的转轴（30）上设置有与所述旋转从动齿轮（28）相互配合的旋转主动齿轮（31）。