防止单晶拉制设备中加热器电极熔化下坠的设备

摘要

本发明的目的是防止用来向坩埚103用的加热器104提供电流的导电金属电极5，5熔化下坠。开关11控制电源的通断。安培表10a连续地测量流过加热器104的电流。在中间电极6下部出现裂缝8的情况下，在电极5，5烷化下坠之前，由于裂缝8处出现放电现象，电流测量值会出现细小的波动。因此，如果安培表10a测量的电流波动超出允许范围，则控制器12切断开关11，从而切断电极5，5的电源，并防止电极5，5熔化下坠。

主权项

1.一种用来防止单晶拉制设备中加热器电极熔化下坠的设备，它包括：气密容器，该气密容器内部的储存半导体熔料的坩埚，包围坩埚的加热器，以及一对导电金属电极，每个都具有冷却水通道，每个都用螺纹连接到与所述加热器连接的石墨中间电极，所述用来防止单晶拉制设备中加热器电极熔化下坠的设备的特征在于包括：在至少一个导电金属电极与向该对导电金属电极供电的电压源之间的电路内设置的开关，电流测量装置，用来测量流过所述加热器的电流值，以及控制器，接受所述电流测量装置输入的电流测量值，在所述电流值的波动超出允许范围，并持续第一预定时间间隔的情况下将所述开关断开，切断电流，而且其中第一预定时间间隔短于所述导电金属电极出现熔化下坠所需的电流测量值连续波动超出允许范围的时间。