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发明名称 Verfahren zum Erzeugen einer Oxydschicht
摘要
申请公布号 DE1771936(A1) 申请公布日期 1972.01.05
申请号 DE19681771936 申请日期 1968.08.01
申请人 TELEFUNKEN PATENTVERWERTUNGSGESELLSCHAFT MBH 发明人 GEHRMANN,HANS;SZPAK,NORBERT,DIPL.-PHYS.DR.
分类号 C23C8/16;H01L21/225;H01L21/316 主分类号 C23C8/16
代理机构 代理人
主权项
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