| 发明名称 |
PROCEDURE FOR MAKING SEMICONDUCTOR DEVICES OF SMALL DIMENSIONS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3669732(A) |
申请公布日期 |
1972.06.13 |
| 申请号 |
USD3669732 |
申请日期 |
1969.05.22 |
| 申请人 |
INTERN. BUSINESS MACHINES CORP. |
发明人 |
SIMON MIDDELHOEK;GIOVANNI SASSO |
| 分类号 |
C23C14/04;C23F1/02;H01L21/00;H01L21/285;H01L21/316;H01L23/29;H01L29/00;(IPC1-7):H01L7/00 |
主分类号 |
C23C14/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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