| 发明名称 |
APERFEICOAMENTOS EM MASCARA DE PRODUCAO DE DESLOCAMENTO DE FASE PARA USO EM FOTOLITOGRAFIA |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
BR8301321(A) |
申请公布日期 |
1983.11.29 |
| 申请号 |
BR19830001321 |
申请日期 |
1983.03.16 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
MARC DAVID LEVENSON |
| 分类号 |
G03F1/00;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03C5/06 |
主分类号 |
G03F1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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