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发明名称 PLASMA PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS6318629(A) 申请公布日期 1988.01.26
申请号 JP19860164383 申请日期 1986.07.10
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 OKUDAIRA KISHIO
分类号 H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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