| 发明名称 |
FORMATION OF GATE INSULATING FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0443642(A) |
申请公布日期 |
1992.02.13 |
| 申请号 |
JP19900151837 |
申请日期 |
1990.06.11 |
| 申请人 |
JII TEI SHII:KK |
发明人 |
OKAMOTO MASAYA;TODA KIYOSHI;ISHII MITSUO |
| 分类号 |
H01L29/78;H01L21/316;H01L21/336;H01L29/786 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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