| 发明名称 |
VACUUM ULTRAVIOLET RAY SOURCE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04262359(A) |
申请公布日期 |
1992.09.17 |
| 申请号 |
JP19910149040 |
申请日期 |
1991.06.21 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
SUZUKI SETSUO;NODA ETSUO;MORIMIYA OSAMU |
| 分类号 |
B01J19/08;B01J19/12;H01J61/09;H01J61/30;H01J61/68 |
主分类号 |
B01J19/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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