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发明名称 Capteur de mesure de pression absolue de type capacitif et procédé de fabrication d'une pluralité de tels capteurs.
摘要
申请公布号 FR2701564(B1) 申请公布日期 1995.05.19
申请号 FR19930001700 申请日期 1993.02.12
申请人 CSEM 发明人 PHILIPPE RENAUD
分类号 G01L7/00;G01L9/00;G01L9/12;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/12 主分类号 G01L7/00
代理机构 代理人
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