发明名称 DEVICE FOR TREATING SUBSTRATES IN A FLUID CONTAINER
摘要 <p>Bei einer Vorrichtung zum Behandeln von Substraten (5) in einem Fluid-Behälter (1) ergibt sich eine besonders gute, gleichmäßige und intensive Behandlung der Substrate (5), wenn diese im Fluid-Behälter (1) während des Behandlungsvorgangs bewegbar sind.</p>
申请公布号 WO1997045860(A1) 申请公布日期 1997.12.04
申请号 EP1997001576 申请日期 1997.03.27
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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