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发明名称 BACK METAL FORMING SUBSTRATE AND BACK METAL FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH08319558(A) 申请公布日期 1996.12.03
申请号 JP19950124936 申请日期 1995.05.24
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SAITO TADASHI
分类号 C23C14/02;C23F1/00;C23F1/30;H01L21/306;(IPC1-7):C23C14/02 主分类号 C23C14/02
代理机构 代理人
主权项
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