| 发明名称 |
Method for planarizing the dielectrics a semiconductor devices |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0697722(A3) |
申请公布日期 |
1997.07.09 |
| 申请号 |
EP19950112508 |
申请日期 |
1995.08.09 |
| 申请人 |
TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED |
发明人 |
JAIN, MANOJ K. |
| 分类号 |
H01L21/31;H01L21/3105;H01L21/316;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/310 |
主分类号 |
H01L21/31 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
