| 发明名称 | 测量薄膜厚度的球面方法 | ||
| 摘要 | 提出了一种更准确、简便、效率更高的测量薄膜厚度的方法,它是基于添加适当研磨剂将沉积薄膜的球滑动摩擦磨掉一球冠,测量新生平面与薄膜外表面及基体表面形成的截圆的尺寸,再由球的已知尺寸计算薄膜厚度。 | ||
| 申请公布号 | CN1232171A | 申请公布日期 | 1999.10.20 |
| 申请号 | CN99116379.6 | 申请日期 | 1999.03.17 |
| 申请人 | 机械工业部武汉材料保护研究所 | 发明人 | 李健;高万振;韦日成;袁成清;顾卡丽 |
| 分类号 | G01B5/02 | 主分类号 | G01B5/02 |
| 代理机构 | 武汉市专利事务所 | 代理人 | 杨明安 |
| 主权项 | 1、一种测量薄膜厚度的方法，其特征在于利用滑动摩擦试验装置将沉积有薄膜的已知尺寸球磨去一球冠，测量所得新生平面与薄膜外表面及基体表面形成的截圆尺寸，再由球的已知尺寸计算薄膜厚度。 | ||
| 地址 | 430030湖北省武汉市汉口宝丰二路126号 | ||