| 发明名称 | 用于金属CMP的组合物和浆料 | ||
| 摘要 | 一种化学机械抛光前体组合物,包括至少一种具有多个氧化态的催化剂和至少一种稳定剂,在使用前该组合物与氧化剂掺混以用于从基材上除去金属层。还公开了一种化学机械抛光前体组合物,包括一种氧化剂和至少一种具有多个氧化态的催化剂,该组合物与磨料或磨料垫片并用后可用于从基材上除去金属层。 | ||
| 申请公布号 | CN1242729A | 申请公布日期 | 2000.01.26 |
| 申请号 | CN97181180.6 | 申请日期 | 1997.11.21 |
| 申请人 | 卡伯特公司 | 发明人 | 史蒂文·K·格鲁宾;克里斯托弗·C·斯特赖恩兹;布赖恩·L·米勒 |
| 分类号 | B24B1/00;H01L21/00 | 主分类号 | B24B1/00 |
| 代理机构 | 柳沈知识产权律师事务所 | 代理人 | 巫肖南 |
| 主权项 | 1.一种化学机械抛光组合物，包括：至少一种氧化剂；和至少一种具有多个氧化态的催化剂。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||